FrameworkElement.Widthで、幅を指定できる。
FrameworkElement.Width Property (System.Windows) | Microsoft Docs

1つ目のButtonのWidthを50にする。

2つ目は100、3つ目は150とする。

このように幅の違うボタンを配置できる。
Sample/wpf/FrameworkElement/Width/src/FrameworkElement_ at master · bg1bgst333/Sample · GitHub